磁控溅射论文
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氮分压对氮化锆薄膜颜色影响的研究
一、氮分压对氮化锆薄膜颜色影响规律的研究(论文文献综述)吴键坤,李兆国,彭丽萍,易勇,张继成[1](2021)在《氮分压对ZrN薄膜结构及颜色的影响》文中进行了进一步梳理采用直... -
富镍TiNi形状记忆薄膜与合金的转变行为差异
一、DifferencesoftransformationbehaviorbetweenNi-richTiNishapememoryfilmsandalloys(论文文献综述)... -
圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶的磁场设计与计算
一、圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶磁场的设计计算(论文文献综述)王永清,沈懿璇,万真真,余兴,王海舟[1](2021)在《辉光放电磁控溅射靶材利用率和刻蚀均匀性方法研究与进展》文中...