靶材论文

一、圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶磁场的设计计算（论文文献综述）王永清,沈懿璇,万真真,余兴,王海舟[1]（2021）在《辉光放电磁控溅射靶材利用率和刻蚀均匀性方法研究与进展》文中...